진공(vacuum)의 어원은 비어있음(empty)을 의미하는 그리스어로부터 유래한다. 실제로는 공기중에 노출되어 있는 진공용기가 사용되므로 몇가지 진공장치에 의해 공기가 제거되므로써 진공상태를 얻게 된다. 따라서 진공용기로 부터 제거되는 공기량에 따라 진공의 정도가 결정된다. 현실적으로 전혀 공기가 존재하지 않는 진공용기를 얻는 것은 불가능하다. 만약 이것이 실현된다면 그러한 진공상태는 완전한 또는 절대적 진공으로 불릴것이다.
진공 시스템은 보통 작동압력에 의해 분류된다. 가장 널리 사용되는 진공분류 방법을 보면 다음과 같다.
| 압력 범위 구분 |
| 구 분 (CLASSIFICATION) |
압 력 범 위 (PRESSURE RANGE) |
| 저진공(LOW VACUUM) |
760 Torr~ 1 Torr, 100kPa ~ 100 Pa |
| 중진공(MID VACUUM) |
1 Torr~ 10-3 Torr, 100kPa ~ 0.1 Pa |
| 고진공(HIGH VACUUM) |
10-4Torr~ 10-7 Torr, 0.1Pa ~ 10 μPa |
| 초고진공(EXTRA HIGH VACUUM) |
10-8 Torr~ 10-11 Torr, 10 μPa (LESS) |
| 극고진공(ULTRA HIGH VACUUM) |
10-12 Torr~ (LESS)
|
실제 사용되는 압력의 환산표이다. 특희 유의할 점은 Torr와 millTorr가 각각 mmHg, μHg와 거의 같다는 점이다. 실제로 Torr와 millTorr가 더욱 일반적으로 사용되고 있으며 KS에서도 이것을 규정하고 있다.
| 압력단위 환산표 |
구 분 (CLASSI-
FICATION) |
Torr |
atm |
dyne/㎠ |
Kg/㎠ |
1b/in2 |
Newton/㎡ |
| 1Torr(mmHg) |
1 |
1.316×10-3 |
1.333×103 |
1.360×10-3 |
1.934×10-2 |
1.333×102 |
| 1atm |
760 |
1 |
1.013×106 |
1.033 |
14.70 |
1.013×105 |
| 1dyne/㎠(μbar) |
7.501×10-4 |
9.869×10-7 |
1 |
1.020×10-6 |
1.450×10-5 |
0.1 |
| 1Kg/㎠ |
735.6 |
9.678×10-1 |
9.807×105 |
1 |
14.22 |
9.807×104 |
| 1b/in2(Psi) |
51.72 |
6.805×10-2 |
6.895×104 |
7.031×10-2 |
1 |
6.895×103 |
| Newton/㎡(Pa) |
7.501×10-3 |
9.869×10-6 |
10 |
1.020×10-5 |
1.450×10-4 |
1 |
압력 단위 변환기입니다.
**서비스 가능한 압력단위 대응표**
단위 : Pa, atm, bar, mmHg, mH2O, psi, kgf/㎠
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